來源:http://www.tiantianpinche.cn/?分類:搬運設備 時間:2025-6-25? 14:33:30
? ? ? ? 半導體制造對生產環(huán)境的潔凈度要求近乎苛刻,任何微小的塵埃、震動或靜電都可能對敏感的晶圓和精密設備造成毀滅性影響。半導體無塵車間搬運工具不僅要滿足基本的承重與移動需求,更要確保零污染、零震動、零靜電,同時具備精準微調能力。那么,半導體無塵車間搬運可以用哪些工具?
一、半導體無塵車間起重搬運設備
1、氣墊搬運車
氣墊搬運車以空氣為動力,不會產生高溫和火花和灰塵,不會污染環(huán)境,可前進、后退以及360度旋轉,防震無晃動,適合半導體無塵車間搬運,主氣源流量≥1.6立方米/分,保質五年。
2、氣浮搬運平臺
氣浮搬運平臺和氣墊搬運車采用同樣的工作原理,氣源驅動,防震無火花,定制范圍更廣,可定制載荷、尺寸、氣囊數(shù)量、驅動方式、操控方式等,適合不同形狀和尺寸的半導體無塵車間搬運,保質五年。
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氣墊搬運車(質保五年) | 氣浮搬運平臺(保質五年) |
二、半導體無塵車間微調頂升設備
無塵室?guī)Щ_爪式千斤頂可頂升可100mm范圍前后移動,表面經(jīng)過特殊處理,防塵防銹防靜電,適合半導體微調位移,日本NOK進口油封,保質2年,無塵室?guī)Щ瑒虞喿κ角Ы镯?/u>可選(前后左右100mm移動)
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無塵室?guī)Щ_爪式千斤頂(保質2年) | 無塵室?guī)Щ瑒虞喿κ角Ы镯敚ūY|2年) |
2、楔形千斤頂
日本DIAKI楔形千斤頂可頂升可推移,采用鋁合金材質,防腐蝕耐生銹,一體便攜式設計,配有液壓手柄可360度旋轉,操作簡單,可利用5mm空隙頂升至34mm,狹窄空間輕松操作。
3、無塵推移滑動紙
僅有A4紙大小,擁有1-5厘米的微調距離,可任意前后左右自由移動,適合1-9噸小型半導體無塵車間搬運,可用于流水線設備微調,相比較其他移動工具性價比高。
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日本DAIKI楔形千斤頂 | 無塵推移滑動紙 |
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